Lub IPLAN 50X10 NIR yog lub tshuab microscope zoo tshaj plaws uas kho tau zoo heev uas tsim los rau kev thaij duab ze infrared (NIR) thiab cov haujlwm ua cov khoom siv laser. Nrog rau qhov loj ntawm 50X thiab lub qhov (NA) ntawm 0.67, nws muab qhov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws (kev txwv diffraction ~ 0.5 µm ntawm 550 nm) thaum tswj qhov deb ua haujlwm ntawm 10 hli - zoo tagnrho rau kev tshuaj xyuas cov wafers tuab, soj ntsuam kev sib cuam tshuam ntawm cov khoom siv laser, thiab kev koom ua ke rau hauv cov hlwb automation hauv kev lag luam.